电子、生物制药、电厂等工业超纯水
2009-02-07 14:57:47 来源: 浏览次数:0 网友评论 0 条
在电子、生物制药等工业邻域,经常会使用超纯水。超纯水是指水中电解质几乎全部去除,水中不溶解的胶体物质、微生物、微粒、有机物、溶解气体降至很低程度,25℃时,电阻率达到18MΩocm,须经过特殊工艺精处理的水。
超纯水制备基本原理:
清洗工艺段废水和新补充水混合后,进入预处理段;
预处理段调节PH值,混凝、过滤、活性炭吸附,去除酸、悬浮物、大分子有机物;
RO工艺拦截超过98%的溶质、TOC、硅酸盐、悬浮物;
GTM脱气工艺除去水中溶解氧、二氧化碳、挥发性有机物;
EDI和抛光混床联合使用去除水中金属离子和阴离子如氯离子、硫酸根等;
紫外工艺杀灭水中有机体及生物体;
工艺中各段设备、管道、储罐均须采用对超纯水无二次污染的材质。
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项目
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单位
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典型市政供水水质
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典型超纯水水质
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电阻率
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M Ohms-cm
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0.004
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>18
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pH
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units
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8
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6
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TOC
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ppb
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3500
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<10
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氨
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ppb
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300
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<1
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钙离子
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ppb
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22000
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<1
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镁离子
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ppb
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4000
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<1
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钾离子
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ppb
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4500
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<1
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硅酸盐
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ppb
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4780
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<10
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钠离子
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ppb
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29000
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<1
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氯离子
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ppb
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15000
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<1
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氟化物
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ppb
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740
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<1
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硫酸盐
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ppb
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42000
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<1
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